SEMI簡介

SEMI是半導體設備與材料的國際性組織（Semiconductor Equipment and Materials International ）的簡稱，成立于1970年，總部位于美國加州，是半導體工業的全球執行聯盟。

SEMI下屬的安全工作小組為了降低機械危害的風險，制定了一套適用于半導體及顯示器材料和制造設備的全球性標準和法規，成為半導體業界對設備系統的必備的規格要求。

SEMI標準中有材料（M系列） 、設備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列） 等，環境? 健康? 安全（EHS） 由S系列規定。

SEMI S2認證簡介

SEMI S2認證是針對制程設備供貨商所規范的基本健康和安全要求安全標準，符合SEMI S2不僅符合了國際相關規定，也是半導體產業的公司所要求的必要條件之一。

SEMI S2認證以效能考量為主，涵蓋半導體制造設備的環境、健康及案件條件．具體來說，該標準涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等各方面的安全領域，代表了半導體廠家的基本安全要求。
與其他SEMI指令相比，例如，SEMI S8（人體工學要求）和SEMI S10（風險評估）一起使用，SEMI S2代表了半導體廠家的基本安全要求。過去半導體業者為了降低機械危害的風險，采取非常多類別的防制與管理措施，其中最典型的措施是在采購設備系統時，即將SEMI S2安規認證列為必備的規格要求。

SEMI系列常見標準

SEMI S1 - Safety Guideline for Visual Hazard Alerts 裝置安全標簽

SEMI S2 - Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產裝置的環境、健康、安全

SEMI S3 - Safety Guidelines for Heated Chemical Baths 熱化學槽的安全性

SEMI S4 - Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets 櫥柜收納高壓氣筒的隔離/分離

SEMI S5 - Safety Guideline for Flow Limiting Devices 流量限制設備

SEMI S6 - Safety Guideline for Ventilation 換氣

SEMI S7 - Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產裝置的環境、健康、及安全性（ESH）評價

SEMI S8 - Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產裝置的人機工程學

SEMI S9 - Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產裝置的電氣設計驗證試驗

SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment 風險核查

SEMI S11 - Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments 半導體生產裝置的小環境的環境、安全性及健康

SEMI S12 - Guidelines for Equipment Decontamination 裝置的去污

SEMI S13 - Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment 半導體生產裝置的操作及維護手冊

SEMI S14 - Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment 對半導體生產裝置的火災風險評估和降低

SEMI S15 - Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems 有毒及易燃氣體的檢測系統評價

SEMI F47 - Voltage Sag Standard 電壓瞬變能力規范

SEMI S2認證辦理

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