• S 系列標準：?

• SEMI S2：作為基礎指南，定義了半導體產品所需的最低安全要求，涵蓋電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等多個安全領域，與 SEMI S8（人體工學要求）、SEMI S10（風險評估）等共同構成半導體廠家的基本安全要求。?

• SEMI S8：聚焦半導體生產裝置的人機工程學要求，關注設備設計與人員操作的適配性，以減少因操作或人體疲勞等帶來的風險。?

• SEMI S10：針對半導體生產過程中的風險評估，助力企業識別潛在風險并制定應對措施。?

• SEMI S14：圍繞半導體生產裝置的火災風險評估和降低展開，對設備防火安全提出具體規范。?

• SEMI S22：為半導體設備和材料供應商提供規范框架，包含環保、質量控制、文檔記錄等方面要求。?

• F 系列標準（以 F47 為例）：規定了半導體制程設備電壓跌落抗擾度測試要求，因現代半導體制造工具對交流電源干擾敏感，遵守該標準可證明產品質量，被許多半導體制造商所要求。

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• 行業通行憑證：SEMI認證是國際通行且被產業鏈廣泛認可的 “通行證”，主流芯片制造商在引進機臺設備時，常將其作為判定安全標準的重要依據，Intel、TSMC、TEL 等國際晶圓大廠以及中國本土領先半導體廠商 NAURA、SME、AMEC 等均認可該認證。?

• 保障安全質量：基于 SEMI 國際標準部環境健康與安全（EHS）委員會制定的標準和指南，能確保半導體產品達到高水平的安全和質量，降低生產風險，保障操作人員健康安全，提升產品可靠性。?

• 增強市場競爭力：眾多買家將 SEMI 認證納入合同條款，企業通過認證可增強競爭優勢，贏得更多客戶，提高產品適銷性，進而提升企業效率和盈利能力。

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• 預審評估：企業提交技術文檔，由經 認證機構進行標準符合性預審，初步判斷產品是否符合相關標準要求。?

• 現場審核：工程師到現場對產品進行測試，全面評估各項性能、安全指標等，確定產品是否具備認證資格。?

• 機構發證：產品通過審核后，機構將簽發SEMI認證證書，如企業對產品有改動，必須通知認證機構確認改動的影響，評估是否需要補充資料或者測試。