SEMI F47認證簡介

SEMI F47認證是半導體行業的重要認證之一，SEMI F47認證最初于2000年發布并于2006年更新，取得了巨大的成功。SEMI F47標準基本上已被所有半導體工具供應商實施，現在全球幾乎所有晶圓廠都需要該標準。 SEMI F47認證要求工具不受交流電網上常見的電壓驟降的影響。在SEMI F47認證標準的整個生命周期中，避免了數億美元的晶圓廠和工具停機時間。

SEMI F47認證的作用

SEMI F47認證是電壓暫降抗擾度的行業標準。它表示，工業設備必須容忍交流電源上特定深度和持續時間的電壓驟降或驟降。這是一個非常有用的標準，許多半導體行業的設備都在正式或非正式地使用它。符合SEMI F47認證的設備更可靠，生產效率更高。

SEMI F47認證的要求

SEMI F47認證要求半導體加工設備能夠承受連接到其交流電源線上的電壓驟降。它們必須能夠承受長達200毫秒的跌落至設備標稱電壓的50%，跌落至70%的持續時間長達0.5秒，以及跌落至80%的持續時間長達1.0秒。

SEMI F47認證測試標準包括
SEMI F47
IEC/EN 61000-4-11
IEC/EN 61000-4-34

SEMI F47認證測量能力
13個內部電壓通道
6 個內部電流通道
3 個內部保護接地通道
3 +/- 600 V（交流或直流）外部輸入
6 +/- 100 V（交流或直流）外部輸入

SEMI F47認證辦理

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